NWL200 웨이퍼 로더 시리즈

NEXIV와의 통합 – 비디오 계측

NWL200 웨이퍼 로더는 니콘 NEXIV 비디오 측정 시스템과 통합되어 생산 환경에서 반도체 검사를 위한 높은 정밀도, 정확도 및 를 제공합니다.

NWL 시리즈는 니콘의 6개 ″(150mm) 및 8개 ″(200mm) 직경 웨이퍼를 니콘 이클립스 L200N 및 LV150N 현미경 또는 NEXIV VMZ-S 비디오 측정 시스템에

두께 100마이크론(옵션)까지 전송할 수 있는 뛰어난 반도체 웨이퍼 로더 라인업입니다.

- Wafer 후공정에서의 Thin Wafer의 수동 Loading 대응

- 새로운 흡착 방식을 채용한 NWL Series로 최대 100μm 두께 Wafer 이송이 가능

- 높은 안전성과 신뢰성으로 Thin Wafer 검사 요구에 최적화

- Thin Wafer의 경우 Carrier의 검출Sensor의 정밀도가 낮아 ARM이 손상되는 현상을 대응

- NWL200 Series는 Wafer Sensor 배치를 최적화

- Wafer의 왜곡을 정확하게 Cassettes 내에서 형상 검출이 가능

뛰어난 조작성 & 3가지 Mode의 Macro 검사 및 다양한 조명 장치

- Wafer-slot 전면에 Display&Button으로 조작성 향상
- 정교한 인체 공학 디자인
- 높은 처리량의 Cycle Time 단축
- 높은 신뢰성 ( Error의 진단 및 전면Display로 확인 가능 )