S neox는 공초점(Confocal)·간섭계(PSI/ePSI/CSI)·Ai 초점 변화(Ai Focus Variation) 3-in-1 측정 기술을 한 시스템에 통합한 고성능 3D 표면측정기로, R&D부터 생산라인 QA/QC까지 폭넓게 적용되는 다기능 3차원 현미경/프로파일러입니다. 

스마트 알고리즘과 신규 카메라 적용으로 데이터 취득 속도(최대 180 fps)와 표준 취득 속도(기존 대비 5배 향상)를 강조하며, ISO 25178 기반 교정/소급성, 직관적인 SensoSCAN 인터페이스(오토 3D, 샘플 네비게이션, 분석/리포트 템플릿)로 빠르고 재현성 있는 측정을 지원합니다. 

또한 고NA 공초점으로 미세 구조·가파른 경사면(매끄러운 표면 최대 71°, 거친 표면 최대 86°) 측정이 가능하고, 간섭계로 서브나노~나노급 높이 분해능을 제공해 표면 거칠기·형상·박막 두께 등 다양한 계측 요구에 대응합니다.