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Optic Component

MS-200-DIC-RSII

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Compact Microscope (VIS Tube Lens)MS-200-DIC-RSII

개요

MS-200-DIC-RSII는 반사광(에피) 관찰 시스템에 DIC(미분간섭) 관찰 기능을 통합한 현미경 광학 모듈로, 금속/세라믹/반도체 웨이퍼·패키지 등 표면 구조는 있으나 명암 대비가 낮은 시료를 고콘트라스트로 관찰할 수 있도록 설계된 구성입니다.


일반적인 명시야(BF)에서는 잘 드러나지 않는 미세 스크래치, 단차, 표면 요철, 가공 흔적 등을 DIC 특유의 입체감 있는 콘트라스트로 강조하여 검사 재현성과 불량 검출성을 향상시키는 데 목적이 있습니다. 또한 현장 운용을 고려해 관찰 조건(조명/개구/정렬) 튜닝과 구성 변경이 용이한 형태로 시스템 빌딩이 가능합니다.

특징