자외/근자외(NUV/DUV) 대물렌즈 라인업은 명시야 관찰용 장작동거리(Long WD) 설계를 기반으로, 자외 영역에서의 높은 투과율과 초점 보정을 통해 미세 패턴의 고대비 관찰 및 정밀 작업에 최적화된 렌즈군입니다. 특히 YAG 레이저 고조파(355nm, 266nm) 운용 환경을 고려해 해당 파장대에서 초점이 맞도록 설계되어, 반도체 회로/패턴 관찰, LCD 리페어 등 UV 기반 검사·리워크 응용에 적합합니다.

• NUV Plan APO (355nm 중심): 355nm 포함 폭넓은 파장대에 대응하여, 근자외~근적외 파장대 응용까지 범용 운용에 유리

• DUV Plan (266nm 중심): 266nm~가시광(532nm) 구간에 최적화되어, 더 짧은 파장(심자외) 기반의 작업/관찰에 적합