● 고내구성

    - 대물렌즈 변환 500만회 이상 실현!

    - 급유가 불필한, Maintenance free 구조로, 24시간 가동이 필요한 검사장비 적용에 최적합!

● 고정도

    - Non-Contact, 고정밀 마그네틱 센서에 의한 비접촉 위치 검출 방식 채택

    - 고강성 구조로 중량있는 대물렌즈의 고속전환에도 고정밀도 유지

     - Stopping position Accuracy ±2μm 이내 실현!

● 그 외 특장점

    - 먼지 발진을 최소화 하여, 반도체/FPD 크린룸 사용에 최적합 (Class 4. ISO 14644-1 대응)

    - 대물렌즈 변환시 시야중심 틀어짐 보정 기능 탑재

    - 대물렌즈 변환시 관찰화상의 조도를 일정하게 제어 가능

● 적용 사례